江苏省“离子源应用”研讨会 于2005年4月16日在南京召开，共有17个单位37名代表参加了会议。在这短短的一天会期中，参加会议的代表详细介绍了各自离子源的应用情况，并对南京北方光电有限公司的光学分厂进行了参观和现场交流，此外“莱宝”和“阿斯创”等国外公司的代理也分别介绍他们公司的新技术、新工艺和新材料等。

与会代表一致认为：这种小型的研讨会开得好，开得成功。尽管没有较多的论文，但大家能把自己在实践中所取得的经验和体会谈了出来，达到了互相交流、相互促进、共同提高的目的。下面分几个方面来说明之：

1. 江苏曙光光电有限责任公司、江苏北方湖光光电有限公司、南京北方光电有限公司和河南平原光电有限公司四家有APS离子源镀膜机的企业各自介绍了使用APS源的情况。尤其江苏北方湖光光电有限公司和南京北方光电有限公司还毫无保留地介绍了他们在镀膜中APS源所设定的具体参数，以供大家参考。

2．韩国镀膜机无论是“韩一”、“UNIVAC”还是“PROTECH” 等公司生产的均采用了霍尔源（End—Hall），江苏北方湖光光电有限公司和南京茂莱光电有限公司均介绍了他们的使用情况。江苏北方湖光光电有限公司详细介绍了用霍尔源镀制Ta2O5膜料的参数。

3．在镀膜材料的使用方面，大家对此进行了深入地讨论，尤其对常用的镀膜材料TiO2。大家基本上一致认为Ti3O5是TiO2初始材料的最佳选择，因为蒸发成膜后可得到较稳定的折射率，“阿斯创”镀膜材料公司也推出自己的产品——TiOs（s=1.7），这是一种含“Ti3O5”成分很高的品种；同时大家也认为，在使用中必须对Ti3O5这种初始材料进行充分的预熔，还可在预熔时适当地充一点氧，能达到更好的效果。

4．光敏胶固化时所用的紫外光对镀有TiO2的膜层有影响。江苏北方湖光光电有限公司做了试验：可见区高反膜经15分钟这种紫外光（德国生产的紫外线灯）辐照后，其反射率在550—700nm有明显下降；南京茂莱光电有限公司在透镜胶合时也有这种情况发生，即透射率下降，但通过烘烤有会消失；江苏曙光光电有限责任公司在棱镜胶合时也出现过类似的现象。大家分析，这是TiO2受紫外光照射后分解的缘故，通过烘烤反应又能逆向进行。这又给我们薄膜工作者也提出了一个课题：如何能得到不受紫外光影响的TiO2膜层？否则在上述的情况下，应避免采用TiO2这种材料。

5．无论是APS等离子源或霍尔离子源等均会引入污染，以致膜层的激光损伤阈值有所下降。江苏曙光光电有限责任公司前一段时间在对光学薄膜激光损伤阈值的研究中也发现了一个事实，即：无论是减反射膜还是高反膜，在同样的膜系和采用同样的镀膜材料的条件下，其激光损伤阈值最高的是在不采用离子辅助技术时所蒸镀的薄膜。这说明不是离子源引入了污染，就是离子源的参数设定有问题。莱宝公司也介绍了他们的研究结论，即是：他们的APS等离子源的阴极（LaB6）不污染膜层。在会上也有人提出了质疑，离子源的阴极（LaB6）在使用中是要消耗的，那么它消耗到哪儿去了？（除了离子源的阳极筒上有LaB6，难道在膜层中就没有吗？）这个问题的探讨还有待于各方面继续去研究，对我们来说，应首先在APS源设置的参数上下功夫，使离子源能在最佳状态下工作。

6．莱宝公司详细介绍了改进型的APS离子源（APS pro）的特点，具体有以下几个方面：

A）充氧方式改善

“APS pro”型将充氧环置于等离子源内部，这样氧气的离子化的程度大大地高于原来的APS源，同时等离子体的密度也要比原来的APS源大近一倍；此外，等离子体在基片架上的分布也更均匀；还减少了打火现象。

B）功率的增加

“APS pro”型通过各部分的改进，将其功率提高到到15W，比以来原来的APS源（7W）提高了一倍。

C）重新设计了离子源阳极筒

“APS pro”型重新设计了阳极筒，以减少离子源在运行过程中对阳极筒的污染；同时对它的冷却系统也进行了改进设计，以确保该新型离子源在较高功率下能稳定地运行。

D）控制模式的改进

与原来的APS源相比，“APS pro”型增加了放电电流——偏压控制模式，以确保等离子体在工件架上的能量分布均匀性；此外，APS pro”型的偏压控制的响应也比原来的APS源来得快，可以获得更好的成膜重复性和均匀性。

江苏省激光与光学工程学会

薄膜专业委员会

2005年4月20日