第七届江苏省薄膜技术交流会于2004年11月20日至11月21日在南通召开，有30多个单位60多名代表参加了会议。短短的两天的会议共交流了16篇论文，参观了如东县宇迪光学仪器厂有限公司和“南通中天”，并举行了以“加强交流合作和促进资源共享”为议题的座谈会。与会代表一致认为：本次会议开的圆满、成功，为我省的光学薄膜领域创造了一个交流、合作的平台，并达到了预期效果。下面分几个方面来说明之：

1） 这次在会上的16篇论文内容的分布面较广，有薄膜的工艺研究、有膜

系的设计和软件、有国内、外的最新动态、镀膜材料工艺参数的介绍、国内、外激光损伤阈值测试方法（标准）的比较，以及我省薄膜领域中的资源共享与对策等。

2）我省在光学领域的民营企业和三资企业近几年来得到了长足的发展，他们在镀膜方面的水平已接近或达国营大、中型企业，而且还有他们的特色。就以这次会议的东道主——如东县宇迪光学仪器厂有限公司为例，1979年该厂仅是一个只有8人的眼镜镜片厂，至今已发展成为拥有1000多名员工的中日合资企业，并通过了ISO9001质量论证，年销售产值超亿元。他们有镀膜机总共达28台，其中能镀多层膜的就有8台，而且在镀制宽带减反射膜方面的水平已达到了较高的水平。他们还从日本的奥林巴斯公司引进了一种快速测定减反射膜剩余反射率的仪器，它可以快速测定透镜上的剩余反射率；而通常在分光光度机上是不能测量透镜上的剩余反射率的，只能测量测试片（平面上的剩余反射率）。这对实测零件（透镜）很有意义，尤其是在批量生产的情况下。此外还有像“南京茂莱”、“南通中天”和“苏州贰陆”等企业。

3）我省的国营企业通过改制也焕发了青春，就以兵器系统的几个企业：528厂、559厂和5308厂来说，在近几年中都引进了世界一流的带APS源的Leybold镀膜机，有的还配了中档的韩国镀膜机，镀膜人员也成倍的增加，559厂和5308厂还先后建立了镀膜中心, 除了负责本单位的研制和生产外，还承担了对一写高难度的外协任务。

4）离子辅助蒸发技术（IAD）是当今光学薄膜的新工艺，它能提高薄膜的附着力和机械强度，增加薄膜的稳定性；而且可以实现在低温下镀膜，这不但可以解决胶合件、树脂和塑料上的镀膜，而且可以能提高镀膜效率。

通过这次会议我们了解已有不少单位在应用这一新工艺。离子源的种类很多，有APS源，有RF源（射频离子源），有霍尔源，以及冷阴极远离子源；从其来原来分，还可分成国产的和进口。当然它们各有优、缺点。目前南京大学物理系，就有人在研究这一技术，他们从美国的VEECO公司引进了RF离子源。建议在应用离子源方面开展一个专题的研讨会，来促进这一新技术的应用和推广。

5）在薄膜的激光损伤阈值测试方面，根据最新颁布的国际标准 ISO 11254的规定，对于脉冲激光来说，激光损伤阈值的计量单位分为两种情况：一是，脉宽相对于热扩散时间较短的情况，则应采用能量密度（J/cm2）作为计量单位；二是，脉宽相对于热扩散时间较长的情况，由于热量的累积效应，脉冲的峰值功率则是影响损伤阈值的关键参数，故应采用功率密度（W/cm2）作为计量单位。对于长脉冲或连续激光来说，光学薄膜的损伤完全是激光的热损伤占主导地位，故其激光损伤阈值应采用线性功率密度（W/cm）作为计量单位，由于激光束斑通常应认为是圆形的，我们可把“线性功率密度”理解为“径向功率密度”。

我国在这方面的实际使用中，至今还较为混乱。如对光学薄膜承受短脉冲（10—20ns）激光的损伤阈值，往往使用了功率密度作为计量单位。这也许是习惯造成的，但有必要尽快地统一到国际标准（国家标准）上来。这不仅可与国际接轨，而且还能使我们加深对“激光损伤阈值”含义的理解。在这次薄膜技术交流会上获悉，有些外资企业把光学薄膜的样品寄到国外的权威机构去测量其激光损伤阈值。 这样可以加快与国际接轨。

6）在会上与一些国营和民营企业的代表交谈中，还了解到了目前镀膜生产人员的管理模式，他们均将操作镀膜机与擦拭光学零件两个工序分开。这是随着镀膜要求的不断提高，镀膜机变得越来越复杂后在管理上的一项改革，并在不少单位取得了良好的效果。

7）对于化学稳定性差的光学零件，镀膜后往往容易产生“印子”等疵病，这是多年来困扰光学厂批量生产的大问题，由于其造成的原因很多：有玻璃材料本身的影响，即不同厂商和不同批次的的玻璃，其结果也不同；有抛光工艺的影响（包括采用不同的抛光粉）；有镀膜前清洁工艺的影响；有镀膜工艺的影响（包括膜系、使用的镀膜机和镀膜材料等）；有工序流转的时间和环境的影响，还有抛光工房和镀膜工房温、湿度的影响等等。所以很难找出一个主要的原因来，而且往往是几个因素交织在一起，故克服起来十分困难。

8）资源共享是这次会议的交流主题.在现代经济科技发展中, 资源共享已成为普遍关注的重大问题,是合理使用、节约资源的重要手段,对经济科技发展有着重要的影响.资源共享对薄膜科技的发展显得更加重要.根据薄膜科技发展的特点:设备的专门化,器件集成化,材料多样化、工艺复杂化,测量仪器的高精化,相关知识扩展化,作为一个人、一个单位或一个地区,由于精力、投资有限,不可能面面具到,而解决的最好办法是走资源互补和资源共享的途径,这是一个多快好省的办法,江苏省作为一个薄膜科技大省,如能得到充分、合理、有效的使用,会大大减少资源的浪费和流失,就能促进单位、地区的科技发展.

与会代表经充分讨论并认识到资源共享的必要性与重要性.为了实现资源共享,促进科技发展,相应提出了持续性的对策:

1) 定期(每年一次)举办薄膜技术交流、研讨会:交流薄膜的新技术、新材料、新工艺、新器件、及其国内外发展动态.

2) 加强单位(工厂、院校、研究所)的资源互补和共享(有偿或无偿),开展项目合作研究.

3) 利用省激光与光学工程学会的网页平台,开办专栏进行技术交流.网上进行信息交流、知识传播、问题研讨是最好的方式.充分利用网页平台下的栏目.“信息快递”栏可转载国内外的薄膜科技发展的动态信息;发布新技术、新材料、新器件的最新信息.“学术交流”栏可登载省薄膜会议的论文(论文题目和摘要)及相关会议的薄膜论文题目.在“网上论坛”中开辟“薄膜论坛”定期开展薄膜科技专题研讨,例如:材料、工艺、器件等专题;不定期开展“薄膜科技问答”,不论理论性的、技术性、工艺性的问题,在网上都可以互相讨论,亦可请专家解答.

在网上交流对我们来讲,是一项新的工作,有待于薄膜工作者的大力支持.我们相信:受益于薄膜科技发展的事,一定会兴旺发达.

在我省薄膜领域的资源共享方面，虽然做了一些工作，但还不够.特别在网页上进行技术交流更为欠缺.通过这次大会的论文报告和专题讨论，大家对资源共享的重要性有了充分的认识，而且已有不少单位在考虑进一步加强与其它单位的资源互补和项目合作。

江苏省激光与光学工程学会

薄膜专业委员会

2004年11月24日