为了深入落实专委会走进企业、服务企业的社会职能,发挥薄膜光学技术专委会在学术研究、技术交流、工艺创新中的优势,江苏省光学学会薄膜光学技术专业委员会开启了走进企业、现场交流的研讨之旅。
2023年8月28日,学会理事及专委会副主任委员宋治平、陈建华,委员涂建军、薛建、魏东、顾志辉、张家雨、李全民、张志方、张需平、王晋峰、唐乾隆共计12名委员赴长沙元戎科技有限责任公司进行了深入调研和学习。
专委会一行实地参观了元戎科技生产园区,深入了解了其技术研发和生产车间的运营情况。参观中,委员们就关心的设备组件、设备配置、技术原理、应用工艺等内容,与元戎科技技术人员进行了详细的沟通和交流。
随后,元戎科技总结里张诚、副总经理李伟详细介绍了元戎科技的发展历程、发展理念、产品结构、自主核心技术、技术服务等方面的内容。元戎科技的发展理念、自主技术和服务承诺深得各位委员的赞许。元戎科技在半导体相关领域已经生产了140余台磁控溅射设备,目前反应磁控溅射设备的国产化替代已经全部走通,正在开发直接光学监控膜厚控制系统,准备陆续推入市场。
在听取了各项介绍和发展计划后,专委会一行就反应磁控溅射设备在精密光学应用中的薄膜致密度、薄膜缺陷、膜层纯净度、镀制均匀性、表面粗糙度、膜厚控制精度等问题进行了研讨。张诚总经理结合设备制造和膜层制备工艺详细阐述了元戎科技在新型反应磁控溅射镀膜设备上所做的工作,从部件特点、射频离子源的选择、设备组成、制备工艺难点等方面做了详细解答,并给出元戎新型反应磁控溅射典型的应用实例,如:固体激光器AR膜、HR膜,低温制备高致密度氧化硅、氮化硅、氮氧化硅薄膜等,其中超低反射反射率达到万分之五、万分之三,超高反射薄膜反射率可达5个9的薄膜制备。
此次跨域研讨显示了江苏省光学学会对推动科技创新和促进自主可控产业发展的决心和支持。通过应用需求和产品设计制造面对面地交流,畅通无阻地从工艺痛点上反馈给设备源头,改进提升,为高端PVD设备自主可控发展提供重要支持,国产化反应磁控溅射镀膜设备的成功助推光学薄膜的进一步发展。同时也是一次难得的学习和交流机会,为进一步深化合作、推动光学薄膜技术创新和新型反应磁控溅射设备的发展打下坚实的基础。
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